複雑な内部構造を持つ部品の製造工程では、Ｘ線ＣＴ装置による３次元形状の計測・評価が有効な手法の一つです。そのためには、寸法評価が可能なレベルの高精度な表面抽出が課題となっています。従来技術では、断面再構成と表面形状抽出が別々に行われていましたが、それを統合し、従来技術では達成できなかった高精度な形状抽出を可能にするものです。
　断面再構成の時に、従来は直交格子である画像を用いてきましたが、これを「表面形状に適合した格子」を利用することにしました。
　既に２次元画像に対するアルゴリズムの開発には成功し、特許も出願済みです。アルゴリズムの３次元への拡張を実現することで、高精度化と、形状の角の再現をはかり、より精緻な形状を画像で表現できるようになります。検証はMEMSのＸ線透過像を利用し、寸法精度評価とともに、物理的な解析の予測精度向上の実証も行います。

（a）従来技術（直交格子によるCT再構成結果）
（b）提案技術（格子パターンを表面形状に合わせたCT再構成結果）※２次元版

画像処理と形状処理を融合させ、高精度な形状抽出に最適化したCTスキャン画像の再構成

（１）

画像解析において、部品の表面形状に沿った格子を用い、表面付近の「ボケ」をなくします。

（２）

工業製品形状で重要なピン角の再現が可能です。

（３）

製造しながら計測が可能となります。無駄な製造コストの削減が可能です。

3次元コーンビーム型CTスキャナーを想定し、シミュレーションによって得られたX線投影像を入力とし、三角形メッシュとして形状を復元した結果を以下に示します。従来手法と比較して、少ない要素数で高精度に形状が再現できていることが分かります。

２次元画像についてのアルゴリズム開発は既に成功。３次元画像については、特にMEMSデバイスを中心に、高精度検査技術を追求します。

X線CT計測による寸法検査技術を、新しいデータ処理技術により高精度化し、応用の幅を広げることを目指します。非破壊検査による高精度な３次元計測が必要な分野の方とのコラボレーションさせていただきたく存じます。